Η Τοπογραφική Υπηρεσία συστάθηκε το 1917 παράλληλα με τη σύσταση του υπουργείου Γεωργίας και υπαγόταν στο Τεχνικό Τμήμα της Διεύθυνσης Δημοσίων Κτημάτων. Την ίδια χρονιά με τον Νόμο 886 «Περί συστάσεως και οργανισμού σώματος τοπογράφων μηχανικών» συγκροτήθηκε σώμα τοπογράφων μηχανικών υπαγόμενο στην αρμοδιότητα του υπουργείου Γεωργίας «προς διεξαγωγήν των τεχνικών υπηρεσιών της Διευθύνσεως Δημοσίων Κτημάτων». Με τον ίδιο νόμο καθορίστηκαν ζητήματα διορισμού, μονιμότητας, αμοιβών και κατηγοριοποίησης του τεχνικού προσωπικού της Τοπογραφικής Υπηρεσίας. Έτσι, το τεχνικό προσωπικό της υπηρεσίας αποτελούσαν ο τμηματάρχης του Τεχνικού Τμήματος, πέντε επιθεωρητές, 36 προϊστάμενοι Τοπογραφικών Συνεργείων, 50 μηχανικοί, 36 βοηθοί και 12 σχεδιαστές. Με τον Νόμο 1317 του 1918 τροποποιήθηκε η σύνθεση του προσωπικού της υπηρεσίας ως εξής: ένας επιθεωρητής, πέντε ελεγκτές, 16 προϊστάμενοι συνεργείων, 20 τοπογράφοι μηχανικοί α΄ τάξεως, 25 τοπογράφοι μηχανικοί β΄ τάξεως, 25 δόκιμοι τοπογράφοι μηχανικοί. Τον Ιανουάριο του 1920 ψηφίστηκε ο Νόμος 1843 «περί κυρώσεως του από 15 Ιουλίου 1919 νομοθετικού διατάγματος περί συμπληρώσεως των διατάξεων περί τοπογραφικής υπηρεσίας της διευθύνσεως κτημάτων του Υπουργείου Γεωργίας» που διαμόρφωσε εκ νέου το οργανόγραμμα της υπηρεσίας και τη διάρθρωση του προσωπικού της. Σύμφωνα με τον παραπάνω νόμο δημιουργήθηκε θέση προϊσταμένου Σχεδιαστηρίου στην Τοπογραφική Υπηρεσία και αυξήθηκε και ο αριθμός των σχεδιαστών. Με τον ίδιο νόμο προβλεπόταν και η ανάθεση αρμοδιοτήτων τοπογράφων της υπηρεσίας που απορρέουν από την εφαρμογή του Νόμου 1072 σε στρατιωτικούς ή άλλους δημοσίους υπαλλήλους και η δυνατότητα πρόσληψης αλλοδαπών σχεδιαστών και τοπογράφων. Καθοριζόταν, επίσης, ότι τις λογιστικές υπηρεσίες της Τεχνικής Υπηρεσίας της Διεύθυνσης Δημοσίων Κτημάτων εκτελεί αποσπασμένος αξιωματικός. Με το άρθρο 8 του Νόμου 1317 προβλεπόταν και η ίδρυση τεχνικών γραφείων στις πρωτεύουσες των νομών της χώρας με αρμοδιότητες «την εκτέλεσιν τοπογραφικών υπολογισμών και σχεδίων των κατά την περιφέρειαν του γραφείου εργαζομένων συνεργείων και την επί τούτων άσκησιν αμέσου εποπτείας». Οι λεπτομέρειες για την ίδρυση, λειτουργία και δικαιοδοσία των περιφερειακών τεχνικών γραφείων θα καθορίζονταν για το καθένα ξεχωριστά με σχετικά βασιλικά διατάγματα. Λίγους μήνες αργότερα με τον Νόμο 2204 ανατίθονταν τα ταμιακά και λογιστικά καθήκοντα της υπηρεσίας σε διοριζόμενο υπάλληλο απόφοιτο της Εμπορικής Σχολής, ενώ προβλεπόταν και η δυνατότητα πρόσληψης ως τοπογράφων στην Τοπογραφική Υπηρεσία αποφοίτων των στρατιωτικών σχολών των Ευελπίδων και των Υπαξιωματικών . Με τους Νόμους 3072 του 1924 και 3279 του 1925 τροποποιήθηκαν διάφορες διατάξεις που αφορούσαν κυρίως το προσωπικό της Τοπογραφικής Υπηρεσίας . Σύμφωνα με τα παραπάνω, η Τοπογραφική Υπηρεσία διαιρούνταν στην Κεντρική Υπηρεσία και στα περιφερειακά τεχνικά γραφεία. Το τεχνικό προσωπικό της υπηρεσίας εργαζόταν σε τοπογραφικές εργασίες στην περιφέρεια συγκροτώντας Τοπογραφικά Συνεργεία τα οποία εποπτευόταν από τα περιφερειακά τεχνικά γραφεία. Στην Κεντρική Υπηρεσία εκτός από τη Γραμματεία και το Λογιστήριο υπαγόταν το Σχεδιαστήριο καθώς και το Τεχνικό Τμήμα. Στις αρμοδιότητες της Τοπογραφικής Υπηρεσίας ήταν η εκτέλεση τοπογραφικών εργασιών (κατάρτιση τοπογραφικών σχεδίων κτημάτων, σχεδίων ρυμοτομίας, καθορισμός ορίων κτημάτων, καθορισμός και διανομή κλήρων ακτημόνων και προσφύγων κ.ά.) στο πλαίσιο του εποικιστικού προγράμματος των ελληνικών κυβερνήσεων με την αποκατάσταση ακτημόνων καλλιεργητών και προσφύγων σε διαθέσιμες δημόσιες γαίες.
Το 1930 με τον Νόμο 4556 «περί οργανισμού Διευθύνσεως Τεχνικών Έργων Υπουργείου Γεωργίας» η Τοπογραφική Υπηρεσία εντάχθηκε ως τμήμα στη Διεύθυνση Τεχνικών Έργων η οποία περιλάμβανε επίσης και το Τμήμα Γεωργικής Υδραυλικής. Σύμφωνα με τον παραπάνω νόμο, το Τοπογραφικό Τμήμα της Διευθύνσεως Τεχνικών Έργων είχε στην αρμοδιότητά του: α) «την εκτέλεσιν και παρακολούθησιν πάσης φύσεως τοπογραφήσεως εντός του Κράτους, είτε προς μελέτην υδραυλικής φύσεως έργων, είτε διά την εκμετάλλευσιν ή διανομήν εκτάσεων διατιθεμένων διά γεωργικούς ή εποικιστικούς σκοπούς». β) «Την εκτέλεσιν διαχωρισμών, προσωρινών και οριστικών διανομών, την σύνταξιν πινάκων διανομής και επίβλεψιν εφαρμογής των εγκεκριμένων σχεδίων διανομής». γ) «Την τήρησιν Αρχείου καταμετρήσεων και διανομών». Την ίδια χρονιά, με τον Νόμο 5006 «Περί τροποποιήσεως και συμπληρώσεως του νόμου 4556» συστάθηκε Γραφείο Λογιστικού στη Διεύθυνση Τεχνικών Έργων. Με το Προεδρικό Διάταγμα της 30ης Δεκεμβρίου 1932 «περί συμπτύξεως Υπηρεσιών Υπουργείου Γεωργίας και κανονισμού αρμοδιοτήτων» περιορίστηκε ο αριθμός του προσωπικού της Τοπογραφικής Υπηρεσίας τόσο στην Κεντρική Υπηρεσία όσο και των Τοπογραφικών Συνεργείων από 503 σε 292. Έτσι, οι οργανικές θέσεις της Τοπογραφικής Υπηρεσίας καθορίζονταν ως εξής: ένας προϊστάμενος, δύο επιθεωρητές, επτά ελεγκτές, 12 προϊστάμενοι συνεργείων, 15 μηχανικοί Α΄, 15 μηχανικοί Β΄, 20 δόκιμοι μηχανικοί, 60 γεωμέτρες, 40 τεχνικοί βοηθοί, ένας προϊστάμενος σχεδιαστηρίου, 35 σχεδιαστές, ένας γραμματέας, τρεις γραφείς, ένας λογιστής, δύο βοηθοί λογιστή, 30 απόφοιτοι στρατιωτικών σχολών και δύο κλητήρες. Ο αριθμός των 292 υπαλλήλων συμπληρωνόταν από τους μόνιμους και έκτακτους υπαλλήλους της τέως Τοπογραφικής Υπηρεσίας του Τεχνικού Τμήματος της Διεύθυνσης Αγροτικής Εγκαταστάσεως Παλαιάς Ελλάδας Ηπείρου και Νήσων (ΠΕΗΝ) της Επιτροπής Αποκαταστάσεως Προσφύγων (ΕΑΠ) που μετά την κατάργησή της εντάχθηκε –μαζί με το αρχείο της– στην Τοπογραφική Υπηρεσία του υπουργείου Γεωργίας.
Το 1933 με το Προεδρικό Διάταγμα «περί ιδρύσεως γραφείων Τοπογραφικής Υπηρεσίας του Υπουργείου Γεωργίας» ιδρύθηκαν Γραφεία της Τοπογραφικής Υπηρεσίας στη Θεσσαλονίκη, την Κομοτινή και τη Δράμα , ενώ αργότερα ιδρύθηκαν Γραφεία Τοπογραφικής Υπηρεσίας και σε άλλες περιοχές της χώρας, όπως το Γραφείο Ιωαννίνων, Κοζάνης και Κρήτης . Το 1935 με τον Αναγκαστικό Νόμο «περί των εκτάκτων υπαλλήλων της τοπογραφικής υπηρεσίας του Υπουργείου Γεωργίας και διαρρυθμίσεως της υπηρεσίας Τεχνικών Έργων» η Διεύθυνση Τεχνικών Έργων του υπουργείου Γεωργίας μετονομάζεται σε Διεύθυνση Υδραυλικών Έργων και δεν περιλαμβάνει πλέον ως τμήμα την Τοπογραφική Υπηρεσία η οποία αναβαθμίζεται σε αυτόνομη Διεύθυνση. Ένα χρόνο αργότερα συστάθηκε θέση Γενικού Επιθεωρητή παρά τη Τοπογραφική Υπηρεσία του υπουργείου Γεωργίας .
Το 1943 με τον Νόμο 480 «Περί οργανώσεως της Τοπογραφικής Υπηρεσίας του Υπουργείου Γεωργίας» καθορίστηκαν εκ νέου οι αρμοδιότητες, το οργανόγραμμα και οι οργανικές θέσεις του προσωπικού της Τοπογραφικής Υπηρεσίας. Στην αρμοδιότητα της υπηρεσίας υπαγόταν: α) η εκτέλεση κάθε εργασίας που προβλεπόταν από τον Αγροτικό Νόμο ή άλλους ειδικούς νόμους και σχετίζονταν με την Τοπογραφική Υπηρεσία, η διατήρηση του αρχείου των αποτυπώσεων και διανομών κτημάτων, η έκδοση αντιγράφων διαγραμμάτων, κτηματολογικών πινάκων κ.λπ. για τον καταρτισμό οριστικών χρεώσεων και έκδοσης οριστικών τίτλων κυριότητας των αγροτικώς αποκατασταθέντων από τις εποικιστικές υπηρεσίες του Κράτους ή την τέως ΕΑΠ, η ενημέρωση του Κτηματολογίου για κάθε μεταβολή επί των κλήρων και η χορήγηση στοιχείων για την ρύθμιση των αποζημιώσεων στους αρχικούς ιδιοκτήτες απαλλοτριωθέντων κτημάτων. β) Η καταμέτρηση, διανομή και εκπόνηση διαγραμμάτων επί εκτάσεων που ανήκουν στο Δημόσιο και σε Νομικά Πρόσωπα Δημοσίου Δικαίου στα οποία θα εκτελεστούν έργα προς επαύξηση του γεωργικού τους εισοδήματος ή θα γίνει αγροτική αποκατάσταση των μελών τους καθώς και η εκτέλεση κτηματογραφήσεων για τις ανάγκες Υπηρεσιών, Νομικών Προσώπων και Οργανισμών Δημοσίου Δικαίου. Σύμφωνα με τον νόμο, η Κεντρική Υπηρεσία της Διεύθυνσης της Τοπογραφικής Υπηρεσίας περιλάμβανε δύο Τμήματα και δύο Γραφεία. Το Τμήμα Α΄-Τεχνικών Μελετών είχε στην αρμοδιότητά του την τεχνική οργάνωση της Υπηρεσίας, τη σύνταξη τεχνικών κανονισμών και υποδειγμάτων των εκτελουμένων εργασιών, την επιμέλεια και την εκάστοτε διάθεση του τεχνικού υλικού και την τήρηση των εργασιών τριγωνισμού. Το Τμήμα Β΄-Κτηματογραφήσεως και Ελέγχου είχε στην αρμοδιότητά του την τήρηση του τεχνικού αρχείου, την παρακολούθηση και τον έλεγχο των οριστικών διανομών, τις εισηγήσεις στις Επιτροπές Ελέγχου κυρώσεων ή τροποποιήσεων διανομών, τη χορήγηση διαγραμμάτων και κτηματολογικών πινάκων για την ενημέρωση του Κτηματολογίου, τον καταρτισμό των οριστικών χρεώσεων των κληρούχων, την έκδοση οριστικών παραχωρητηρίων, τον καταρτισμό προγράμματος των προς εκτέλεση εργασιών από τα Τοπογραφικά Συνεργεία και τη χορήγηση των απαιτούμενων στοιχείων προς ρύθμιση των οφειλομένων προς τους ιδιοκτήτες αποζημιώσεων. Στο Γραφείο Διοικητικού και Γραμματείας υπαγόταν η διεκπεραίωση κάθε εγγράφου, η τήρηση του διοικητικού αρχείου και των στοιχείων του προσωπικού της Διεύθυνσης, η παρακολούθηση των μετακινήσεων του καθώς και η ταξινόμηση και τήρηση νόμων, διαταγμάτων ή εγκυκλίων που αφορούν τη Διεύθυνση της Τοπογραφικής Υπηρεσίας. Στο Λογιστικό Γραφείο υπαγόταν ο καταρτισμός του προϋπολογισμού της υπηρεσίας, η σύνταξη εκθέσεων περί των απαιτούμενων πιστώσεων, ο καταρτισμός των σχετικών εντολών πληρωμής, η σύνταξη μισθολογικών καταστάσεων του προσωπικού και η διαχείριση και διαφύλαξη του υλικού και των οργάνων της υπηρεσίας.
Ο Νόμος 480 καθόριζε, εκτός από τις οργανικές θέσεις της υπηρεσίας, και τη δομή των περιφερειακών γραφείων της Τοπογραφικής Υπηρεσίας. Έτσι, οριζόταν η λειτουργία των Περιφερειακών Γραφείων Αθηνών και Θεσσαλονίκης καθώς και στις έδρες των υπολοίπων Γενικών Διοικήσεων της χώρας. Αρμοδιότητα των Περιφερειακών Γραφείων ήταν η μελέτη των εργασιών διανομής κλήρων, η επίλυση κάθε διαφοράς κατά τη διανομή των κλήρων, η χορήγηση αποσπασμάτων εκ των στοιχείων των διανομών στους ενδιαφερομένους, η εκτέλεση διαφόρων τοπογραφικών εργασιών και η χορήγηση αναγκαίων στοιχείων για οριστικές χρεώσεις καθώς και η έκδοση οριστικών τίτλων κυριότητας των κληρούχων.
Η Δ΄ Αναθεωρητική Βουλή ψήφισε το 1946 νέο νόμο σχετικά με την οργάνωση της υπηρεσίας της Τοπογραφικής Υπηρεσίας του υπουργείου Γεωργίας . Ο Νόμος 197 όριζε τις αρμοδιότητες της Τοπογραφικής Υπηρεσίας κατά τον τρόπο που ορίζονταν στο νόμο του 1943 και διαιρούσε τη Διεύθυνση Τοπογραφικής Υπηρεσίας σε Κεντρική και Περιφερειακή. Η Κεντρική Υπηρεσία περιλάμβανε τέσσερα Τμήματα α) Τμήμα Α΄, β) Τμήμα Β΄, γ) Γραμματεία και Διοικητικό και δ) Λογιστήριο. Με Βασιλικό Διάταγμα τον Ιούλιο του 1947 καθορίστηκε το οργανόγραμμα της Υπηρεσίας, η διαίρεση των Τμημάτων της Κεντρικής Υπηρεσίας σε Γραφεία και η αρμοδιότητα αυτών . Συγκεκριμένα το Τμήμα Α΄ ονομαζόταν Μελετών και Ελέγχου και διαιρούνταν σε πέντε (5) γραφεία ως εξής: Γραφείο 1ο Μελετών, Γραφείο 2ο Τριγωνισμού, Γραφείο 3ο Ελέγχου, Γραφείο 4ο Σχεδιάσεων, Γραφείο 5ο Κεντρικού Τεχνικού Αρχείου. Το Τμήμα Β΄ ονομαζόταν Προγράμματος και Κτηματολογίου και διαιρούνταν σε πέντε (5) Γραφεία ως εξής: Γραφείο 1ο Προγράμματος και Στατιστικής, Γραφείο 2ο Κυρώσεως Διανομών και Αποστολής Στοιχείων, Γραφείο 3ο Εκδόσεως Αντιγράφων Διαγραμμάτων και Πινάκων, Γραφείο 4ο Κτηματολογίου, Γραφείο 5ο Χρεώσεων και Παραχωρητηρίων. Τα Τμήματα Γραμματείας και Διοικητικού και Λογιστηρίου δεν διαρούνταν σε επιμέρους Γραφεία. Οι αρμοδιότητες κάθε Τμήματος και Γραφείου παρουσιάζονται αναλυτικά όταν περιγράφονται οι αντίστοιχες σειρές και οι υποσειρές του αρχείου.
Το 1952 με το Βασιλικό Διάταγμα «περί τροποποιήσεως της εις Τμήματα διαιρέσεως της Κεντρικής Υπηρεσίας της Διευθύνσεως Τοπογραφικής Υπηρεσίας του Υπουργείου Γεωργίας» τα Τμήματα Διοικητικού και Γραμματείας καθώς και του Λογιστηρίου διαιρούνται και αυτά σε Γραφεία. Συγκεκριμένα, το Τμήμα Διοικητικού και Γραμματείας ή Τμήμα Γ΄, σύμφωνα με το Βασιλικό Διάταγμα του 1952, διαιρούνταν σε δύο (2) Γραφεία: α) Γραφείο 1ο Διοικητικό με αρμοδιότητα: την τήρηση των στοιχείων του προσωπικού της Διεύθυνσης, την παρακολούθηση των μετακινήσεων του, την τήρηση και ταξινόμηση νόμων, διαταγμάτων και εγκυκλίων καθώς και την επίβλεψη της ασφάλειας και καλής συντήρησης των γραφείων της Κεντρικής Υπηρεσίας. β) Γραφείο 2ο Γραμματείας με αρμοδιότητα: τη διεκπεραίωση των εισερχομένων και εξερχομένων εγγράφων της Διεύθυνσης, την τήρηση του διοικητικού αρχείου και των ειδικών ευρετηρίων. Το Λογιστήριο ή Τμήμα Δ΄ διαιρούνταν και αυτό σε δύο (2) Γραφεία: α) Γραφείο 1ο Λογιστικό με αρμοδιότητα: τη σύνταξη του προϋπολογισμού της Υπηρεσίας, την παρακολούθηση της εφαρμογής του, τη σύνταξη εκθέσεων περί των απαιτούμενων πιστώσεων καθώς και τη σύνταξη σχετικών εντολών πληρωμής και μισθολογικών καταστάσεων. Β) Γραφείο 2ο Κινήσεως Υλικού με αρμοδιότητα την τήρηση μητρώου των οργάνων και του εν γένει τεχνικού υλικού της Διεύθυνσης, τη διαφύλαξή του, τη παρακολούθηση της κίνησης και τον έλεγχο της διαχείρισής του.
Όσον αφορά την Περιφερειακή Υπηρεσία αυτή απαρτιζόταν από Γραφείο Επιθεώρησης με έδρα την Αθήνα, το ανεξάρτητο Γραφείο Τοπογραφικής Υπηρεσίας Θεσσαλονίκης και τα Τοπογραφικά Τμήματα παρά τις Διευθύνσεις Γεωργίας κάθε Νομού .
Το 1953 με το Νομοθετικό Διάταγμα 2386 «Περί ενοποιήσεως και αποκεντρώσεως των Τεχνικών Υπηρεσιών του Κράτους» η Διεύθυνση Τοπογραφικής Υπηρεσίας εντάχθηκε στο υπουργείο Συγκοινωνιών και Δημοσίων Έργων . Βέβαια το άρθρο 5 του παραπάνω νομοθετικού διατάγματος όριζε ότι η Διεύθυνση Τοπογραφικής Υπηρεσίας του υπουργείου Γεωργίας διατιθόταν στο υπουργείο Συγκοινωνιών και Δημοσίων Έργων για ένα διάστημα δύο ετών ώστε να ολοκληρωθούν οι τοπογραφικές εργασίες για την αποπεράτωση του εποικιστικού έργου, διάστημα που θα μπορούσε να παραταθεί ύστερα από σύμφωνη γνώμη των δύο υπουργείων. Στο διάστημα αυτό η Διεύθυνση Τοπογραφικής Υπηρεσίας υπαγόταν στη διοικητική και πειθαρχική εξουσία του υπουργού Γεωργίας.
Η υπαγωγή της Διεύθυνσης Τοπογραφικής Υπηρεσίας στο υπουργείο Συγκοινωνιών και Δημοσίων Έργων τερματίστηκε το 1957 με τον Νόμο 3679 που επανάφερε τη Διεύθυνση Τοπογραφικής Υπηρεσίας στο υπουργείο Γεωργίας με την οργάνωση που είχε πριν από το Νομοθετικό Διάταγμα 2386 του 1953.