Το αρχείο αποτελείται από: α) φακέλους βιομηχανικών και βιοτεχνιών που αφορούς σε άδειες εγκατάστασης, επέκτασης, λειτουργίας, μηχανολογικών εγκαταστάσεων κ.ά. και β) αρχείο της Διεύθυνσης Διοικητικού που αφορά κυρίως θέματα προσωπικού καθώς και τα συμβούλια επιθεώρησης δημοσίων θεαμάτων (1976 – 1985). Οι χρονολογίες κατά προσέγγιση.

Το αρχείο της Επιθεώρησης Βιομηχανίας Αττικής και Νήσων περιλαμβάνει αρχειακό υλικό δύο υπηρεσιών: Υπηρεσίας Μηχανολογίας Αθηνών (ΥΜΑ), Επιθεώρησης Βιομηχανίας Αττικής και Νήσων (ΕΒΑΝ). Φάκελοι εργοστασίων: άδειες λειτουργίας, μηχανολογικός εξοπλισμός, άδειες σκοπιμότητας εγκατάστασης και λειτουργίας βιομηχανιών. Φάκελοι ελέγχου ατμολεβητών. Φάκελοι χορήγησης αδειών άσκησης επαγγέλματος σε: χειριστές μηχανών, θερμαστές, ηλεκτρολόγους, μηχανοδηγούς, συντηρητές, μηχανικούς, χειριστές κινηματογραφικών μηχανών, βοηθούς χειριστών κινηματογραφικών μηχανών, εργοδηγών, ηλεκτροτεχνίτες. Οι άδειες αφορούν την Αττική και τις επαρχίες αρμοδιότητας ΕΒΑΝ. Πρακτικά συλλογικών οργάνων. Περιέχονται επίσης μητρώα βιομηχανιών, φάκελοι προγραμματισμού, και αρχειακό υλικό διοικητικού περιεχομένου κ.ά. Οι χρονολογίες κατά προσέγγιση.